改造原因：
CP Unit下方有大量PCW管路，因時(shí)間較長(cháng)，部分管路接口在高壓作用下，存在松動(dòng)破裂造成漏液的風(fēng)險；一旦發(fā)生漏液，設備下方無(wú)任何承漏裝置，液體可直接從華星孔流至Subfab；Subfab放有大量電控柜及高壓線(xiàn)纜，一旦遇水，后果嚴重?，F評估在CP Unit下方加裝承漏盒裝置，避免液體外流。

改造方案：
在設備下方Frame之間加裝承漏盒，無(wú)管路的部分承漏盒為整體式；有管路的部分承漏盒為拼接式，拼接處將管路密封包裹。

拼接式承漏盒效果圖：
因存在管路干涉，管路下方承漏盒采用拼接式處理，拼接處將管路密封包裹，并用耐酸堿防水膠貼合；機臺骨架與承漏盒用耐酸堿防水膠連接貼合；每個(gè)承漏盒都配備一個(gè)排水口并與其它整體式承漏盒排水口并聯(lián)后接入廠(chǎng)務(wù)排水管。    

整體式承漏盒效果圖：
機臺骨架與導流板用耐酸堿的防水膠貼合；導流板與承漏盒用螺絲加防水膠連接貼合；每個(gè)承漏盒都配備一個(gè)排水口并與其它承漏盒排水口并聯(lián)后接入廠(chǎng)務(wù)排水管。  

承漏盒底部效果圖：
每個(gè)承漏盒底部都可以進(jìn)行高度調整      

報警裝置：
每個(gè)承漏盒里加裝一支液體檢知sensor，型號為：SUNX EX-F61(客戶(hù)指定)；與設備其它Unit的漏液檢知sensor并聯(lián)。發(fā)生漏液，sensor做動(dòng)，機臺報“LEAK ALAM”，動(dòng)力裝置隨即Stop。